美国鸟牌Bird8921SC13等离子工艺的5千瓦超稳油介质射频负载

美国鸟牌Bird8921SC13等离子工艺的5千瓦超稳油介质射频负载,专为应对现代等离子体工艺中的高精度射频能量调控挑战而设计。这款产品以其卓越的稳定性与精确度,有效地解决了在复杂等离子应用场合中对过程重复性和一致性的高度需求。具体规格上,8921SC13射频终止负载在广泛的频率范围内(从直流至28 MHz)表现出优秀的性能,最大电压驻波比(VSWR)仅1.1,并且在典型操作条件下,阻抗保持在50欧姆(标称值),VSWR稳定性更是达到了惊人的程度,在稳定性频率13.56 MHz ± 10 kHz时,即使从零功率上升至满负荷功率的100%,其VSWR变化仍能保持在小于0.1分贝以内。8921SC13, 13.56 MHz Ultra Stable Oil-Dielectric RF Termination For maximum process repeatability and consistency, modern plasma applications require precise RF power regulation and control. A key component in ensuring accurate & repeatable RF power delivery to the chamber is calibration, regulation & monitoring of the RF generator. Bird now offers ultra-stable, low VSWR loads for quick and precise measurement of generator power output when used with precision power sensors such as the Bird 4020 series. The 8921SC13 not only provide low VSWR but also less than 0.1 dB total change in VSWR at process critical frequencies. There is no need for load warm-up or risk of repeatability due to calibration for different lengths of time. This can minimize the errors associated with this calibration and control one of the more critical process variables.

8921SC13

8921SC13产品规格如下:

  • 产品编号:8921SC13
  • 产品名称:5千瓦超稳定油介质射频终止负载
  • 功率额定值:5千瓦
  • 频率范围与VSWR:覆盖DC至28 MHz,最大VSWR为1.1,名义VSWR低于1.05:1
  • 阻抗:50欧姆(标称值)
  • VSWR稳定性:在稳定性频率13.56 MHz ± 10 kHz下,从0至100%额定功率变化小于0.1分贝
  • 连接器:标配为“QC”型LC(女插头)
  • 可选配件:互锁温控开关,默认为常闭,温度达到236°C(457°F)时打开
  • 温控开关额定值:115 VAC, 10 A 或 230 VAC, 5 A
  • 温度范围:工作温度+5至+40°C (+41至+104°F),储存温度–40至+45°C (–40至+113°F)
  • 海拔高度:1520米 (5000英尺)
  • 湿度:最高95%非冷凝
  • 冷却方式:油介质和自然对流冷却
  • 尺寸:32.8" x 9.5" x 26.9" (832 x 241 x 681毫米)
  • 重量:126磅 (57公斤)
  • 表面处理:黑色环氧树脂
Item Specification Description
Item No 8921SC13
Item Name 5 kW, Ultra Stable, Oil-Dielectric RF Termination Load
Power Rating 5 kW
Frequency Range and VSWR DC to 28 MHz @ 1.1 max., VSWR less than 1.05:1
Impedance 50 Ω (nominal)
VSWR Stability < 0.1 dB, from 0 to 100% rated power at stability frequency
Stability Frequency 13.56 MHz ± 10 kHz
Connectors "QC" Type LC (Female) - normally supplied
Interlock Thermoswitch Optional - Normally closed. Opens at 236 °C (457 °F)
Thermoswitch Rating 115 VAC, 10 A
230 VAC, 5 A
Temperature Range Operating: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
Storage: –40 to +45 °C (–40 to +113 °F)
Altitude 1520 m (5000 ft.)
Humidity 95% noncondensing max.
Cooling Method Oil dielectric and convection currents
Dimensions 32.8" x 9.5" x 26.9"
832 x 241 x 681 mm
Weight 126 lbs.
57 kg
Finish Black Epoxy Resin

美国鸟牌这款产品因其出色的稳定性与精确度,避免了负载预热阶段和由于校准时间差异带来的重复性风险,从而显著降低了与校准相关的误差,对等离子工艺中的关键变量起到了精细化控制的作用。在实际应用中,8921SC13射频终止负载常与Bird 4020系列等精密射频功率传感器配合使用,可以迅速而准确地测量射频发生器的功率输出,特别适用于半导体制造、材料加工、航空航天以及国防等多个领域的高性能等离子工艺。Bird 8921SC13射频终止负载代表了射频功率控制技术的尖端水准,凭借其精细的设计和优异的性能特性,能够在高度专业化的等离子处理场景中,确保工艺的高质量重现性和最大限度地减少停机时间,从而彰显出Bird企业在提升射频功率管理和测量技术水平方面的不懈努力和卓越贡献。
文章来源美国鸟牌Bird,深圳银飞企业有售Bird8921SC13超稳定油介质射频终止负载

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